A análise de raios X por dispersão de energia é uma técnica analítica utilizada para a análise elementar ou caraterização química de uma amostra.

Em combinação com um SEM, baseia-se na interação do feixe de electrões com uma amostra, provocando a excitação de raios X.

As suas capacidades de caraterização devem-se, em grande parte, ao princípio fundamental de que cada elemento tem uma estrutura atómica única que permite um conjunto único de picos no seu espectro de emissão electromagnética. As posições dos picos são previstas pela lei de Moseley com uma exatidão muito superior à resolução experimental de um instrumento EDX típico.

Assim, os espectros medidos podem ser avaliados por comparação com os espectros teóricos e a composição elementar da amostra pode ser analisada.