A análise de gases por espectrometria de massa utiliza um espetrómetro de massa quadrupolo em combinação com um sistema especial de entrada de gás para analisar qualitativa e quantitativamente misturas de gases permanentes.

O sistema especial de entrada de gás pode ser acoplado a uma variedade de câmaras de vácuo que permitem analisar um amplo espectro de amostras. Isto aplica-se ao tamanho das amostras, bem como à pressão do gás de enchimento.

Além disso, os sistemas personalizados de entrada de amostras podem ser ligados às câmaras de vácuo através de acessórios de vácuo, alargando ainda mais a aplicação.