A elipsometria é uma técnica ótica para investigar as propriedades dieléctricas de películas finas ou revestimentos finos. O método mede a alteração da polarização aquando da reflexão ou transmissão. Os valores medidos são depois comparados e ajustados a um modelo teórico.

Pode ser utilizado para caracterizar a rugosidade, a espessura e outras propriedades do material. É muito sensível à alteração da resposta ótica da radiação incidente que interage com o material que está a ser investigado.